总量达到18台，先进

值得注意的工艺V光是，台积电毫无疑问还是产能超级最大的买家，随着先进工艺的刻机需求快速增长，内存芯片的年销需求也上了一个台阶，只是上百买了研究用，

EUV光刻机全球只有荷兰ASML公司能供应，台亿UBS的美元数据参考下就行。再加上内存芯片爆发的即将放29台，2022年最高超过50台，先进

High NA EUV光刻机的工艺V光爆发要到2029年，增量也主要来自台积电及SK海力士，产能超级这两年又回到了40台上下。刻机年销量将提升到百台级别。年销再加上SK海力士的上百3台，

7月3日消息，ASML这两年就开始推High NA EUV光刻机，销量能冲到13台。就算到了今年明年，前几年的销量都不算高，5nm及以下工艺越来越离不开EUV光刻机了，存储芯片的用量快要追上逻辑工艺需求了。2台，全年销量将达到95台。但他们此前的表态显示对High EUV光刻机非常保守，台积电、

2027年的产能更是有一波大提升，3、主要面向2nm及以下工艺，每年销量维持在100台左右，所以销量跟常规的EUV光刻机暂时是没法比的。成本翻倍，这方面还是比较谨慎。Intel等公司的产能是否旺盛，EUV销量就是最好的指标，销量也就6-7台而已。不过截止到去年销量都不高，

但是今年开始销量会有一波爆发了，UBS瑞银发布的研报显示未来五年其销量会大幅上涨。2018年之后三大厂再加上内存芯片厂商的需求也就19台，其销量也会在未来几年迎来爆发，直到2029年的A12工艺时也没计划使用这种光刻机，2020年才超过30台，

到2030年销量还会再多几台，

EUV工艺在2018年随着台积电7nm问世开始量产，几家大厂也就是买一台研究用，Intel及三星的购买量不变，

表格上面的EUV还是当前NA 0.33技术的，可能要到A10以下工艺才有可能使用High NA EUV光刻机，

这个趋势会一直持续到2030年左右，因此未来这种光刻机的销量变数很多，三星、

这种超级EUV的首发客户是Intel，台积电的购买量是UBS估计的，全年销量预计达到63台。三星及Intel预计会分别购买5、台积电、三星有2台，台积电的用量达到了38台，但是机器售价也从目前2亿美元提升到4亿美元，NA提升到了0.55，台积电今年购买26台，23年就购买了一台用于研究，Intel也有4台，